Trimethylsilan

Trimethylsilan
	Strukturní vzorec
	Model molekuly
Obecné
Systematický název	trimethylsilan
Sumární vzorec	C3H10Si
Vzhled	bezbarvý plyn
Identifikace
Registrační číslo CAS	993-07-7
PubChem	70435
SMILES	C[SiH](C)C
InChI	InChI=1S/H2Si/h1H2
Vlastnosti
Molární hmotnost	74,197 g/mol
Teplota tání	−135,9 °C (142,2 K)
Teplota varu	6,7 °C (279,8 K)
Hustota	0,638 g/cm3
Bezpečnost
	; GHS02 ; GHS04 ; GHS07
H-věty	H220 H224 H280 H315 H319 H335
P-věty	P210 P222 P230 P233 P240 P241 P242 P243 P261 P261+264 P265 P271 P280 P302+352 P303+361+353 P304+340 P305+351+338 P319 P321 P332+317 P337+317 P362+364 P370+378 P377 P381 P403+233 P405 P410+403 P501
	Není-li uvedeno jinak, jsou použity; jednotky SI a STP (25 °C, 100 kPa). Některá data mohou pocházet z datové položky.

Trimethylsilan je organokřemičitá sloučenina se vzorcem (CH₃)₃SiH, patřící mezi trialkylsilany. Vazba Si–H se vyznačuje vysokou reaktivitou. Tato látka se používá jako činidlo, i když méně často než triethylsilan, který je za pokojové teploty kapalný.

Trimethylsilan se používá při výrobě polovodičů k tvorbě dielektrických a bariérových vrstev plazmochemickou depozicí z plynné fáze (PE-CVD).^[2]

Také slouží jako zdrojový plyn při výrobě TiSiCN povlaků a k ukládání vrstev karbidu křemíku nízkotlakou chemickou depozicí z plynné fáze (LP-CVD)za poměrně nízkých teplot pod 1000 °C. Je drahý, ale bezpečnější než silan (SiH₄); vlastnosti povlaků vytvořených pomocí něj nelze nahradit jinými zdrojovými plyny obsahujícími křemík a uhlík.

Odkazy

Reference

V tomto článku byl použit překlad textu z článku Trimethylsilane na anglické Wikipedii.

↑ ^a ^b ^c ^d https://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/70435
↑ Sheng-Wen Chen; Yu-Sheng Wang; Shao-Yu Hu; Wen-Hsi Lee; Chieh-Cheng Chi; Ying-Lang Wang. A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films. Materials. 2012, s. 377–384. doi:10.3390/ma5030377. PMID 28817052. Bibcode 2012Mate....5..377C.

Související články

Dimethylsilan
Trimethylsilyl

Externí odkazy

Obrázky, zvuky či videa k tématu Trimethylsilan na Wikimedia Commons

Zdroj

[pubchem-1] ttps://pubchem.ncbi.nlm.nih.gov/compound/70435

[2] Sheng-Wen Chen; Yu-Sheng Wang; Shao-Yu Hu; Wen-Hsi Lee; Chieh-Cheng Chi; Ying-Lang Wang. A Study of Trimethylsilane (3MS) and Tetramethylsilane (4MS) Based α-SiCN:H/α-SiCO:H Diffusion Barrier Films. Materials. 2012, s. 377–384. doi:10.3390/ma5030377. PMID 28817052. Bibcode 2012Mate....5..377C.

[1]

[2]